現地時間5月5日、SIDアカデミックフォーラムにおいて、Visionoxの技術専門家である陳発祥氏が招待講演を行い、Visionoxが高移動度ALD（原子層堆積）全酸化物技術の量産ソリューションをいち早く立ち上げたことを発表した。

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VisionoxはALDプロセスを採用することで、全酸化物TFTのシングルゲート移動度を50cm²/V・s以上に高め、6.39インチの全酸化物パネルの点灯に成功した。検証の結果、この技術は成膜精度、安定性、均一性といった性能要件を初期段階で満たしており、高性能、プロセス効率、フルサイズ展開のバランスが取れたOLEDバックプレーンの新たな道筋を切り開くことが示された。

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移動度は50 cm²/V·sを超える。

ALD技術が全酸化物技術の性能限界を突破

既存のOLEDバックプレーン技術エコシステムにおいて、LTPSは優れた移動度のおかげで、長年にわたり高性能分野を席巻してきました。しかし、LTPSは複雑な手順と高コストを伴うエキシマレーザーアニーリング（ELA）プロセスに大きく依存しています。従来の酸化物ソリューションは、大面積の均一性に優れていますが、移動度が低いため、ハイエンドのプレミアムアプリケーションでの使用が制限されています。ALDプロセスの導入は、この長年の業界課題に対する新たな解決策を提供します。

ALDは基本的に、層状に薄膜を成膜する技術です。従来のPVD（物理蒸着）のように材料を単一のバルクコーティングとして成膜するのとは異なり、ALDは各工程で極めて精密な制御を行いながら、原子層ごとに薄膜を成長させます。その結果、ALDで製造された薄膜は、精密な膜厚、均一な分布、そして優れた安定性を備え、高性能酸化物TFTのための強固な材料基盤となります。

ディスプレイバックプレーンにおいて、キャリア移動度はTFT駆動能力の重要な指標であり、高解像度環境における画素応答速度、充電効率、駆動性能に直接影響します。VisionoxはALDプロセスを採用することで、全酸化物TFTにおいてシングルゲート移動度50cm²/V・s以上、デュアルゲート移動度80cm²/V・s以上を達成し、世界最高水準に達しました。これにより、全酸化物バックプレーンはハイエンド小型アプリケーションに十分な駆動能力を備えるようになりました。Visionoxは今後、この技術の量産化をさらに推進していきます。

さらに重要なのは、この全酸化物技術は複雑なELAプロセスを必要とせずに高性能な駆動を実現し、製造ワークフローを根本的に簡素化し、生産効率を向上させる点である。

リフレッシュレートの向上、ベゼル幅の狭さ、消費電力の低減 ― パフォーマンスの向上により、ディスプレイ体験がさらに向上

機動性の向上は、ユーザーのディスプレイ体験における具体的な改善に直接結びつく。

まず、リフレッシュレートの向上です。実際の使用においては、各フレームのピクセルを極めて短い時間内に更新する必要があります。デバイスの駆動能力が高ければ、ピクセルの応答速度が向上し、高リフレッシュレートでも滑らかな映像を容易に実現できます。

第二に、ベゼル幅の縮小と画面占有率の向上です。駆動能力の向上により、同等の表示品質を維持しながら画素回路をさらに小型化できるため、レイアウトスペースの削減とよりコンパクトな構造設計が可能になります。これは、最終製品の工業デザインを最適化するだけでなく、画素密度の高いディスプレイにも対応します。

さらに、この技術は低リフレッシュレートでも安定した表示を実現します。スタンバイモードや長時間のフレーム保持が必要な静止画表示においては、デバイス性能の向上によりピクセル状態がより安定し、画面のちらつきや輝度変動が低減されるため、消費電力を抑えながら安定した映像を実現します。

小型パネルの初稼働に成功 ― 全酸化物技術の応用範囲を拡大

Visionoxは、性能面での飛躍的な進歩を基盤として、小型の全酸化物パネルの起動に初めて成功しました。従来、低移動度という制約から、全酸化物バックプレーンは主に中型ディスプレイに適用されていました。今回の小型パネルの起動成功は、この技術がハイエンドのプレミアムアプリケーションにも適用可能になったことを示し、酸化物バックプレーンの応用範囲を再定義するものです。

検証の結果、ALDソリューションは主要なプロセス指標において量産仕様を満たしていることが確認されました。具体的には、ウェハ間の膜厚変動が2%未満、膜厚均一性が4%以内となっています。これは、量産における優れた安定性と再現性を示しており、パネル生産における一貫性基準を完全に満たしています。現在、この技術は4.5G生産ラインでの検証を完了しており、より高世代のファブにも拡張可能です。

「意欲的で、大胆で、革新力に富む」という精神を堅持するVisionoxは、30年近くにわたる技術蓄積と産業化の経験を活かし、業界発展を阻害する主要なボトルネックに取り組んでいます。高移動度ALD全酸化物技術は、複雑な多材料の組み合わせに頼ることなく、単一の酸化物システム内で性能向上を実現します。高性能、高プロセス効率、フルサイズ展開を特長とするこの技術は、将来のOLED開発における重要な技術ルートとなり、新たなディスプレイ技術競争においてより大きな価値をもたらすことが期待されます。